Çinli litografi ve çip üretim ekipmanı üreticisi SiCarrier, ABD’nin uyguladığı üst düzey çip üretim kısıtlamalarınarağmen 5 nanometre üretiminde önemli bir adım atmaya hazırlanıyor. ABD’nin ticaret yaptırımları nedeniyle ileri düzey çip üretim ekipmanlarına erişimi kısıtlanan Çin, yerli teknolojilerle bu engelleri aşmayı hedefliyor.
Optik olmayan teknolojilerle çözüm
SiCarrier Industry Machines yöneticisi Du Lijun, şirketin ABD’nin kara listesinde olmasına rağmen, çip üretiminde optik olmayan teknolojiler kullanarak bu sorunun üstesinden gelebileceğini belirtti. Du, “Optik olmayan teknolojileri kullanabileceğimiz, yani litografi sorunlarının bazılarını çözmek için kendi üretim ekipmanlarımızı kullanabileceğimiz bir yol olabilir” diyerek şirketin bu konudaki iddiasını ortaya koydu.
EUV olmadan 5nm üretimi hedefi
Bu açıklamalar, Şanghay’da düzenlenen ve 1.400’den fazla katılımcının yer aldığı Semicon China 2025 fuarında yapıldı. SiCarrier’ın aşındırma, biriktirme işlemleri ve optik metroloji gibi alanlarda geliştirdiği araçlar, fuarda en yoğun ilgi gören ürünler arasında yer aldı.
Şirketin çözümü, çoklu desenleme (multi-patterning) adı verilen bir yönteme dayanıyor. Bu teknik, ASML gibi Batılı şirketlerin geliştirdiği aşırı ultraviyole (EUV) litografi makinelerine erişim ihtiyacını ortadan kaldırabilir. Ancak Du, bu yöntemin üretim sürecini yaklaşık %20 oranında karmaşıklaştırabileceği ve verim oranlarını düşürebileceğikonusunda uyardı.
SiCarrier, 2023 yılında Çin’in fikri mülkiyet düzenleyicisinden çoklu desenleme teknolojisi için patent aldı. Bu patent, derin ultraviyole (DUV) makineleri ve kendinden hizalı dörtlü desenleme (SAQP) teknolojisini kullanarak 5nmseviyesinde üretimi mümkün kılıyor. Bu yaklaşım, EUV makinelerine olan bağımlılığı azaltırken, üretim maliyetlerini düşürmeyi hedefliyor.
SMIC ve Huawei ile iş birliği
SiCarrier’ın ekipmanlarının, Çin’in en büyük çip üreticilerinden biri olan Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) tarafından kullanıldığı belirtiliyor. Şirketin bir diğer önemli ortağı ise Çin’in teknoloji devi Huawei. Bloomberg’e göre, iki şirket arasında çip üretimi konusunda stratejik bir iş birliği bulunuyor.
ABD’nin kara listesinde
2021 yılında kurulan ve Çin devletine bağlı bir yatırım fonu tarafından finanse edilen SiCarrier, ABD Ticaret Bakanlığı tarafından Aralık 2024’te kara listeye alınan 140 Çinli teknoloji şirketi arasında yer alıyor. Buna rağmen şirket, yerli teknolojiler ile ABD’nin ticaret yaptırımlarını aşma konusunda kararlı görünüyor.
